(资料图)
1、 《一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机》是东莞市汇成真空科技有限公司于2014年7月8日申请的专利,该专利的申请号为2014103229046,公布号为CN104131261A,授权公布日为2014年11月5日,发明人是李志荣、李志方、罗志明、陸创程。
2、 《一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机》的膜厚控制仪主机位于炉体顶板上方安装在转轴上端,晶振探头安装在工件转架上,晶振探头的电导线和信号线从转轴的上部的中空的腔体中密封穿出炉体,冷却水回路从转轴的下部的中空的腔体中密封穿出炉体,即该发明实现了晶振探头水电的分开传送。该发明把晶振探头的冷却水回路及其电导线与信号线分开分别从炉体传动轴的下部和上部传送,改变了在传动轴上部传送的方式,水电分离传送,简化了之前传动轴上述庞杂的结构,有利于提高设备的可靠性,降低故障率。
3、 2018年12月20日,《一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机》获得第二十届中国专利优秀奖。
4、 (概述图为《一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机》摘要附图)
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